二手 ULTRATECH 2244i #9397143 待售

ULTRATECH 2244i晶片步进器是一种自动化晶片处理设备，设计用于长达6英寸的单晶片处理。步进器利用步进电机技术，允许非常精确和可重复的曝光时间。步进系统还结合了低至5微米的特征大小，分辨率约为0.1微米。该单元的主要部件是：步进引擎、图像编码器、晶圆处理程序、聚焦器、准直器和快门。步进引擎由闭环控制机、电动机和电动机驱动器以及编码器组成，在曝光时间精确定位各级。编码器注册图像位置，这允许非常准确和可重复的曝光时间，而晶圆处理程序可以容纳多达200毫米晶圆。聚焦器利用双轴机构,确保在整个曝光字段中保持一致的聚焦。准直器经过真空冷却设计，可最大程度地减少图样边缘的有害暴露，并提高图样暴露的分辨率。快门采用电子方式操作,旨在确保图像清晰,并最大程度地减少图像重迭工件。2244i允许为要求最苛刻的应用程序提供高端、高度精确的电路模式。这种步进器与电子束光刻（EBL）、深紫外线（DUV）、紫外线（UV）、电子束写入器（EBW）等标准工艺兼容。提供了手动和自动数据处理方法,以及允许严格控制步进器配置的软件。安全功能可同时保护操作员和步进器,例如安全联锁、紧急停止以及可听到的警报和外部计时器。该工具还设计了电源噪声和干扰保护，短路保护，以及过温控制。ULTRATECH 2244i Wafer Stepper是一款设计精良、高性能的单晶圆处理器,专为要求苛刻的应用而设计。资产由于其精密的步进电机驱动级和编码器，具有高分辨率和精确的曝光时间。它还具有紧急停止和报警等安全功能，为晶圆处理提供了安全可靠的解决方桉。该模型的高性能和可靠性使其成为最苛刻的应用程序的理想解决方桉。