二手 ULTRATECH 900 / 1000 #9259722 待售
网址复制成功!
单击可缩放


























ULTRATECH 900/1000是为生产光刻成像而设计的晶圆步进器设备。它在最严格的缺陷范围内产生最高级别的分辨率,为生产过程提供了无与伦比的精确度。这种特殊的模型利用了许多组件,包括光束分析设备、高分辨率视觉系统、先进的图像合成和制造单元、高性能晶圆处理机以及晶圆步进器本身。光束分析工具允许系统的方法通过各种扫描方法来识别生产缺陷。这与高分辨率的视觉资产相辅相成,这有助于提高过程的成像精度,从而进一步实现最复杂的特征集的生产。Advanced Image Synthesis and Fabrication Model (AISFS)旨在提高吞吐量和降低产品周期成本,同时在复制各种光刻特征时提供高度的控制和准确性。该设备能够处理多种基材、单独的掩模套件,还被设计为接受各种局部或全场曝光来创建生产图像。晶圆处理系统旨在提供一个全自动单元,可以根据需要快速、准确地移动晶圆。机器带有许多传感器和操纵器,它们利用广域传感器来捕捉精确的3D位置。此外,它还具有先进的运动计划器,能够精确、高效地移动晶圆。这些组件与晶圆步进器配合使用,可以实现非常精确和高效的生产过程。900/1000晶圆步进是同级中最先进的生产型号。它具有先进的控制工具,使用户能够精确测量到纳米尺度的距离。设备还利用超净化室帮助减少可能影响设备精度的碎片和污染。此外,该模型还能够产生高达10 nm的分辨率,从而在生产极其复杂的特征时达到最高精度。总体而言,ULTRATECH 900/1000被设计为市场上最准确可靠的晶圆步进器。凭借其种类繁多的组件和先进的技术,该设备能够以最小的缺陷级别提供令人难以置信的精确结果。它提供顶级分辨率功能,其简化的设计有助于降低生产映像所需的成本和时间。
还没有评论