二手 ULTRATECH 900 #131416 待售

ULTRATECH 900是作为晶圆步进器开发的一种综合性、模块化、多场临界维度计量设备，用于处理广泛的计量应用。该系统以主流步进市场为目标，对半导体基板图样表面层上的照片定义特征进行临界尺寸（CD）测量。900可用于分析和非分析晶片步进器应用。它具有独特的高分辨率测量运动单元，能够快速准确地测量细线特征。它具有三轴配置,包括一个精确旋转阶段、一个浅角度运动阶段和一个样品放置阶段,每个阶段都可以在两个轴（x, y）中驱动。样品放置阶段提供了横跨样品表面的水平和垂直移动,从而使测试模式对齐,以便以最小的失真进行最佳测量。步进器的设计支持严格的计量任务，具有很高的可重复性和准确性。它能够以纳米尺度测量表面轮廓，甚至可以检测到最小的特征尺寸。快速扫描和样品扫描模式使机器成为CD测量、非接触成像、晶圆映射、缺陷检测等应用的理想选择。ULTRATECH 900还配备了先进的光学工具。它具有两个高分辨率成像系统和一个专利光束发夹技术，允许测量高纵横比特征在同一基板上。资产的高灵敏度允许检测特征大小非常小的缺陷类型。其他功能包括高速晶圆映射绘图功能,它可以快速创建整个晶圆的迭加/模式映射,以及用于检测和识别缺陷的粒子检查模型。900还使用先进技术对CD测量进行扫描、成像和分析。设备的高级软件允许多层分析、CD配置文件生成用于迭加/阶段校正、并行处理以实现更快的吞吐量以及集成的数据管理系统。它还有一个配准模块，这样任何测试模式都可以在同一基板上用于CD测量。总之,ULTRATECH 900是一种先进而全面的晶圆步进器,它为临界维度（CD）计量提供了一套全面的特性和功能。它能够进行分析和非分析应用，并在测量中提供高度的准确性和可重复性。该单元还包含先进的光学系统和精密扫描、成像和测量软件。