二手 ULTRATECH AB200 #9181879 待售

ULTRATECH AB200是为制造半导体晶片而设计的自动化晶片步进器。它采用四轴无刷直线电机系统，采用高精度编码器进行反馈控制。AB200具有快速更换的纤细透镜系统,适用于各种晶圆尺寸,包括4英寸、5英寸、6英寸和8英寸。它有一个可调的Z轴和一个用于精确调平和均匀拾取的电动卡盘。晶片用可调节的固定真空卡盘锁定到位。ULTRATECH AB200的特点包括有源光学对准、晶圆自动感应和正面向下扫描、步进尺寸对准、完全自动对焦以及基于软件的自动标线对准例程,这些都提供了卓越的精度和速度。它支持最常见的光刻成像格式，包括光栅、直线和矢量选择。在安全性方面，AB200采用双级技术。该系统不断向步进器发出信号，以确保晶片装卸过程中的安全。此外，ULTRATECH AB200还提供了先进的喷砂防护，以增加对污染的防护。AB200提供高效可靠的半导体晶片处理,使其非常适合各种应用,包括晶片切割、器件表征和IC测试。其电动Z轴有助于精确的Z高度设置,以便在每个晶片表面上进行均匀处理。其可调真空卡盘为每个晶片尺寸提供了一个优化的、安全的配合.ULTRATECH AB200是一种经济高效且可靠的晶圆步进器,适用于各种应用。它具有高精度的精度和优异的安全特性，使其成为可靠的半导体晶圆加工工具。