二手 ULTRATECH AP 300 #293605731 待售

ULTRATECH AP 300晶片步进器是一种先进的高性能步进器，提供高达6英寸的单晶片处理。它能够在包括光刻、光刻涂层和显影、湿蚀刻、扩散和离子植入在内的各种工艺中以16位位置分辨率达到至少1.25 µm的可重复覆盖配准精度。ULTRATECH AP300采用高分辨率、带有空气的气体放电照明（GDI）设备，采用双层光馈通设计，允许光线自由通过而不会失真。桥接、扫描、聚焦/剂量/定时和精确的PAL/ESM控制等先进技术使实现最高分辨率和迭加精度成为可能。这使得它特别适合于展示和曝光多达6英寸的基板。"AP 300提供了惰性、高真空室，使其能够进行焊接过程。该系统与光学进给通路和坚固的多ARC（自动标线中心）控制单元协同工作，提供卓越的性能和精度。步进器能够集成数据转换和助推器负载等高级流程模式。"数据转换"模式将切片数据转换为3-D进程数据,并允许自动映射和处理应用程序。Booster Load模式为各种基材提供了稳定、连续的负载曲线，提高了产量和吞吐量精度。AP300采用先进的数字扫描仪,可提供高精度和快速的开发时间。该工具采用高速8位DSP（数字信号处理器）,包括6个可调旋钮,便于用户使用。资产配备精密的高分辨率图像，提供无与伦比的性能和准确性。ULTRATECH AP 300还拥有防反射涂层，减少表面反射，并确保激光图桉清晰投射。此外，ULTRATECH AP300还配备了一个紧急冲洗模型，旨在安全和迅速地清除腔内的任何残留气体。它还具有一个内置故障显示,用于在发生任何事件或故障时通知操作员并发出警报。AP 300是需要卓越可靠性能和准确性的用户的完美工具。其先进的技术和用户友好的设计使其成为集成电路制造工艺的绝佳选择。