二手 ULTRATECH AP 300 #9248655 待售

ULTRATECH AP 300晶圆步进器是当今最先进的晶圆步进器之一。它旨在提供纳米级超精密的大体积晶片图样。该设备配备了高精度的隔膜泵，即使在高工艺速率下也能保持最高精度和可重复性。该系统的大级尺寸允许大样品的高通量图样，以及要图样化晶圆的整个特征集的精确定位。ULTRATECH AP300具有先进的运动控制平台,具有开环和闭环控制功能,可最大程度地控制设备的可重复性和精度。该机还配备了用于位置反馈的超精密激光干涉仪，以及获得ULTRATECH专利的用于超精密速度控制的脉冲宽度调制（PWM）电动机。这样就可以在整个晶圆表面进行精确、可重复的纳米级图桉。AP 300利用丰富的功能集,可以快速设置进程。它兼容多种光刻技术，包括UV、KrF、e-beam等。该工具可用于指导阵列蚀刻、定义关键尺寸、以3D创建阵列等。它还利用自动化模式创建资产,允许用户快速配置新流程。AP300还包括若干安全和环境特征。该模型包括安全切断装置，使其能够在出现问题时自动关闭，以及采取预防措施尽量减少环境污染物。此外,设备还会自动执行定期维护,例如清洁和检查磨损情况,从而延长系统的使用寿命。总体而言,ULTRATECH AP 300晶圆步进器是一个功能强大、可靠且超精确的单元,旨在为大型曲面提供业界领先的阵列精度。其先进的运动控制机器允许对功能进行难以置信的重复和精确定位,而其自动化的模式创建工具和安全功能可确保快速、安全地执行过程。ULTRATECH AP300能够实现纳米级制图精度，是大型晶片快速、精确制图的理想选择。