二手 ULTRATECH AP200 #293630413 待售

ULTRATECH AP200是一种多维、高精度的晶圆步进器，设计用于集成电路制造中的精确光刻。这台创新的机器能够使用具有精确可重复性的直接成像技术，以400 nm的分辨率在晶片上精确放置图样。ULTRATECH AP 200配备了二维舞台，可以在X、Y和Z轴中移动。该级由三台精确安静的直接驱动电动机驱动，提供了晶圆的高效定位。步进器还具有双级工艺控制器、多个全画幅区域和一个现场可编程门阵列（FPGA）。所有这些组件协同工作,提供成功的光刻运行所必需的高精度对齐、精密迭加和可重复性性能。除了精确的运动控制，AP200还配备了先进的成像能力。它具有全帧间传输CCD（电荷耦合器件）摄像机和发光二极管（LED）阵列,可提供各种较小场尺寸的精确成像。指示灯可以打开和关闭,以便在不同的曝光场大小之间切换,而摄像头则用于监视整个区域,以确保不出错。为了保证光刻运行时的最高精度，AP 200还配备了大量先进的计量和晶圆处理功能。这包括自动对焦和自动对齐功能,以确保图样在晶圆上精确对齐。它还具有晶片处理机制，使其能够准确放置和移除晶片，而不会受到任何损坏或污染的危险。综上所述，ULTRATECH AP200是一种多维、高精度的晶圆步进器，在集成电路的制造中设计用于精确的光刻。它具有精确的可重复性、二维舞台、先进的成像功能、全画幅的线间传输CCD摄像头、LED灯阵列、自动对焦和自动对准功能以及安全高效的晶圆处理机制。所有这些特性使其成为满足任何光刻需求的理想解决方桉。