二手 ULTRATECH AP200 #9225121 待售

ULTRATECH AP200是一种先进的晶圆步进器，旨在以极高的精确度创建平板基板的高分辨率光刻面膜。此步进器专为难以到达的曲线和锐利的对齐特征而设计。也适用于介电、光敏、埋层图样。步进器具有8英寸-300毫米晶圆尺寸,在设计规则密度、层数、精度、可重复性和磁场尺寸方面具有灵活的选项。它提供4-6微米水平线性分辨率，0.13微米垂直/z轴分辨率用于各种对准操作。步进器还有一个无与伦比的字段重迭，以保持严格的模式注册。ULTRATECH AP 200具有高能光印头系统,具有脉冲幅度调制（PAM）技术。这一特性使打印头的输出能够精确调制，以更好地匹配特定画笔图样的强度轮廓，减少图样失真。它还设计了包括KrF、ArF、HeCd和宽带UV在内的一系列曝光源。除了高分辨率成像功能外,AP200还结合了现场、晶格和隔离模式曝光等高级控制功能,以及曝光后烘烤。还提供了完整的晶圆级和基板级检测阵列。这些高级处理功能包括Automated Parameter和Recipe Manager（保存、检索和修改参数化配方的能力）和Automated Thermal Profiling（自动热分析允许快速可靠的精确温度调节）。AP 200是大型光刻面膜制造的领先晶圆步进器.它的高分辨率成像和多重曝光能力使其成为生产平板显示器、插入器、多芯片封装和其他先进半导体晶圆厂应用的理想选择。其强大的特性，如曝光源、晶片级和基板级检查，以及自动参数和配方管理，使其成为要求苛刻的光刻工艺的可靠和经济高效的解决方桉。