二手 ULTRATECH AP200 #9307527 待售

ULTRATECH AP200是为高级光刻工艺设计的最先进的晶圆步进器。它提供了简单的设置和低维护,以及高分辨率的光学性能,使其成为满足复杂制造要求的理想选择。ULTRATECH AP 200利用电动机驱动的衍射光栅设备，通过双孔径系统产生两级光配电。该技术提供高分辨率成像功能,减少成像时间,同时消除光学像差。此外,还AP200内置对齐和台阶控制功能,以确保在曝光期间准确定位和对齐标线。AP 200的力学包括特定于产品的可调晶片级、电动机驱动的标线扫描仪、电动机驱动的晶片索引单元以及用于晶片处理的负载锁定机构。扫描仪的角度、速度和步数可以根据不同的光刻需要进行调整。此外,吊臂提升手推车允许技术人员将步进器从一个区域移动到另一个区域。ULTRATECH AP200还提供了几种环保机制，如温度控制、电源保护、减振和其他洁净室操作防护系统。尘埃颗粒和其他污染物可以通过基于真空的尘埃过滤机从光路中消除。此工具可防止划痕、污迹和其他可能影响光刻结果的可见污染物。ULTRATECH AP 200的功能丰富的设计提供了比传统光刻解决方桉强大的优势。通过提高成像速度、消除像差和采用各种保护系统,可以以无与伦比的精度和效率执行高级应用程序。此步进器是任何寻求先进光刻解决方桉的人的质量选择。