二手 ULTRATECH LC 37 #9036437 待售

ULTRATECH LC 37是一种多功能且经济实惠的晶圆步进器,具有强大的光刻精度和卓越的设备可靠性。该系统专为满足大批量生产环境的需求而设计,可提供高分辨率成像、6英寸晶片上的精确阵列,以及每次曝光时可靠且可重复的性能。先进的软件通过其图形用户界面提供易于使用的设计、对齐、测量和曝光功能。用户界面引导操作员完成整个过程，具有直观的特征和设置，从而可以在更短的时间内创建准确的模式，并减少错误。它还提供高级功能,例如作业调度、未对齐调整以及一系列光学设置,如"自动亮场"和"自动音调控制"。该装置配备了先进的晶片处理机，允许曝光直径达12英寸的晶片。该专利工具采用独特的空气轴承输送机操作，从而在X轴和Y轴上实现非常精确和可重复的运动。它还提供了两级定位资产,能够将6英寸晶圆从盒式磁带精确、重复地传送到曝光区域,定位精度为3 μ m。此外,该型号还采用高功率光源供电,以实现出色的曝光均匀性。它的脉冲紫外线激光提供了整个晶片的均匀曝光。这确保了通过消除非统一性来实现最大的分辨率。紫外线激光器的威力和墙壁的黑暗使其成为大容量曝光的完美选择。此晶片步进器还具有半开放体系结构和模块化设备,可随着最新技术的出现提供灵活性的升级。它能够与外部工具集成,以满足高级平版印刷要求以及全面的编程和通信选项。此外，它还配备了一整套基本的光刻工艺工具，如自动对准、焦点确定以及电子柱计量。总体而言,LC 37是高容量应用程序的出色解决方桉,提供卓越的性能和可靠性。该系统的特性和功能提供了卓越的性能、准确性和成本效益,使企业能够最大限度地减少停机时间,并最大限度地提高吞吐量和生产产量。