二手 ULTRATECH LSA 100 #9298839 待售

ULTRATECH LSA 100是一种先进的晶圆步进器，旨在提供各种基材和晶圆尺寸的精确对准。ULTRATECH LSA100是一种高精度的定位设备，具有卓越的线性滑动组件和用于精确角度定位的旋转编码器。它是一个完全自动化的工具，能够执行光刻和暴露于多个基板或晶片。该系统具有高吞吐量、优良的定位精度以及独特的图像和过程控制。该装置利用获得专利的磁力升降机在各种工艺操作过程中实现受控、均匀的运动。该工具还具有独特的、高分辨率的、坚固的基于激光干涉仪的对准资产，可确保模型和晶圆基板之间精确一致的对准。设备支持多种晶圆尺寸，包括4"和6"圆形基板。此外，该系统与各种光学成像系统配合使用，使其非常适合在各种波长和分辨率下曝光。LSA 100还提供了一个复杂的过程控制单元，允许用户精确控制暴露过程。这台机器支持在同一基板上进行多次曝光，以允许曝光时间或能量强度的变化。此外,该工具还附带一个高级3D测量资产,允许用户根据需要调整和优化曝光参数。LSA100利用先进的自动化技术来确保精确、可重复和准确的处理。它的可编程运动控制模型允许用户利用基于图像的高级过程控制。该设备还具有先进的报告功能，使用户能够在生产过程中监测各种工艺参数。总体而言,ULTRATECH LSA 100是一款先进的晶圆步进器,旨在为用户提供各种基材和晶圆尺寸的卓越精度和精确度。其磁力提升系统、基于激光干涉仪的对准单元、过程控制机以及先进的自动化技术，使其成为光刻和曝光应用的绝佳选择。该工具旨在提供最佳的图像质量、过程可靠性和卓越的吞吐量。