二手 ULTRATECH LSA 100A #9392624 待售

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ID: 9392624
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
RTP System, 12" 2006 vintage.
ULTRATECH LSA 100A是一种全自动、高性能的晶圆步进器,用于平版印刷、电路打印和阵列设计应用。该设备具有先进、高效的LED光源和机动化级,可实现快速、精确的晶圆定位。LSA 100A能够扫描有阵列或无阵列的晶片以创建电路模式。它利用步进和重复扫描技术来创建标准化的微观结构。该系统具有可编程、可变狭缝和无穷大管的组合,以最大的光刻控制调制光栅照明。UV250光源可调节,输出功率高达80瓦。这使得用户可以选择几种光束形状,提高焦点深度,实现更大的视野。ULTRATECH LSA 100A提供0.75 µm的水平分辨率,最大磁场尺寸为4英寸x 4英寸。该单元配备了可变狭缝机,可以调整狭缝位置,以实现更精确的照明,使精度达到0.15 µm。无穷大管技术设计为在整个视野中提供均匀、可重复、一致的照明。它还提供了一个显着的动态范围的曝光在低能量设置更精细的模式。LSA 100A设有可移动级,可调整晶圆位置和控制循环时间。为确保用户安全,ULTRATECH LSA 100A的设计符合符合SEMI和CE标准要求的高标准安全和环境要求。它提供低振动和低声噪声水平,以确保工作环境的安全和舒适。该工具非常可靠,包含可靠的硬件和软件体系结构,利用了可靠且经济高效的组件。LSA 100A是一种功能强大、用户友好且经济高效的晶圆步进器,它提供了一整套功能,可实现精确和精确的平版印刷结果。它包括一个可调的UV250光源,一个可编程的可变狭缝资产和一个无穷大管以最大化光刻控制。机动化阶段提供快速、精确的晶片定位,模型符合安全和环境要求的最高标准。ULTRATECH LSA 100A是电路打印和阵列应用的绝佳选择。
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