二手 ULTRATECH LSA 201 #9281314 待售
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ID: 9281314
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Laser spike annealer, 12"
Process: Dual Beam
CIM: SECS / GEM
Fab section: Diffusion
Hardware confguration (Fab):
Main system: RASCO
Factory Interface: (2) FOUP
Handler system: GENMARK GB
Options system: DC035-UT-A Laser
Remote / Optics rack
Hardware confguration (Sub fab / Auxilliary units):
ATS Heat exchanger
2015 vintage.
ULTRATECH LSA 201是一种小场检流计扫描仪,非常适合精确扫描和成像应用。它专为晶片步进系统而设计,用于在晶片上精确移动细腻的掩模,以产生高分辨率的图像。扫描仪有一个小轮廓,允许更大的灵活性,在系统中集成光学和其他组件。LSA 201利用了获得专利的电光反馈系统,它允许精确和可重复的运动控制。它还利用高精度的光学元件对准来实现对准的重复性和准确性。这样可以确保晶片步进器以最小的像素失真产生准确的结果,同时降低手动调整的成本和复杂性。该扫描仪采用高分辨率扫描系统,允许扫描速度高达每秒50微米。它能够以5至15伏的可调电压向驱动电动机提供高达2毫安的电流。此外,该设备还配备了一个精密的数字接口,用于精确和精确地控制运动。ULTRATECH LSA 201的设计允许高效的步进掩码更改。它具有快速、精确的掩码更换机制,允许在15秒内更换掩码。它还配备了一个功能强大的基于Windows的软件包,可完全控制扫描仪以及所有功能。LSA 201设计有精确的安全机制,可确保设备在运行过程中保持安全。这包括在超载情况下自动关闭,以及检测并立即停止任何异常移动的传感器。此外,扫描仪的保修期为2年,其中包括由于材料或工艺造成的任何缺陷。总之,ULTRATECH LSA 201是高性能成像和扫描应用的理想解决方桉。它易于适应,具有高度精确的运动控制功能,并且可以快速更换掩码以实现高效操作。强大的软件包提供精确控制所需的所有特性和功能,安全机制确保设备高效、安全地运行。
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