二手 ULTRATECH LSA 201LP #9286627 待售
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ULTRATECH LSA 201LP是为光刻应用而设计的晶圆步进器。它专为边缘偏置照明而设计，能够产生低至半微米分辨率的抗拒线条和空间。ULTRATECH LSA201LP利用高性能的线性电动机驱动级进行运动控制。它是唯一可用的具有2轴移动级的扫描仪，允许扫描晶圆上的不同形状和结构。这有助于达到最高水平的可重复精度。LSA 201LP提供0.75的数值光圈和5.4mm的视场,从而实现各种详细模式。它配备了高分辨率光学器件，能够同时提供恒定照明和可变照明以及集成的自动校准功能。LSA201LP还具有四束对准系统（QBAS）,可确保光刻过程中曝光光学器件的精确光学对准。ULTRATECH LSA 201LP还包括光源卡，它为扫描仪的光学组件提供低噪声电源。这有助于减少电源引起的噪声引起的强度变化造成的模式缺陷。此外,ULTRATECH LSA201LP还具有一系列自动晶圆处理功能,例如自动对齐、图像处理和缺陷检查。这有助于用户加快开发过程,同时降低开发成本。总体而言，LSA 201LP是一种先进的晶圆步进器，非常适合先进的光刻项目。它结合了高光学分辨率、复杂的自动化功能和强大的光学系统,为先进的光刻应用提供了全面的系统。LSA201LP对于需要最新、最先进的步进技术才能达到最佳效果的人来说是理想的选择。
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