二手 ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228467 待售

ULTRATECH Mercury XLS 200是一款高性能晶圆步进器，设计用于经济高效地制造先进的微电子器件。它是为精确和可靠而设计的，使其成为光刻操作的理想选择，以产生具有小特征几何形状的密集、复杂的设计。XLS 200增强的成像功能使其非常适合紧凑的几何形状和尖端的设计功能。它具有4450mm/秒的快速扫描速度,即使是最密集的阵列也能提供快速、准确的处理时间。高分辨率光学器件具有13 nm线宽功能,提供卓越的均匀性和图像质量。先进的级处理系统可实现快速的晶片加载和精确的对准,而主动前端可确保晶片应力较低。该系统配有先进的控制系统，包括真空室自动调节、曝光时间测量控制和污染控制。自动调整和优化功能可确保扫描仪、曝光源和晶片之间的精确交互,从而获得最佳的工艺性能。XLS 200可提供自动对焦和对焦漂移补偿,以随时间推移保持高精度。为了提高生产效率,XLS 200具有批处理功能,具有多个晶片加载和卸载选项以及基于配方的用户界面。其检测精度和可重复性在光刻系统市场上是无与伦比的，设计时考虑到了易于维护。Mercury XLS 200是晶圆步进器的一个工程奇迹，允许经济高效的制造和复杂的光刻操作，准确性和可靠性。它的特点和能力使其非常适合为半导体行业生产高级设计。