二手 ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228468 待售

ULTRATECH MERCURY XLS 200 Wafer Stepper是一种高性能光刻工具，允许厂商为先进的半导体制造工艺创建高精度的芯片图样。XLS 200集成了高级功能,使其能够提供卓越的图样打印精度和高通量。该设备建立在ULTRATECH先进成像技术之上，包括其FiestoLVDS多级成像平台和Beamblanker电子快门。这些技术可实现精确的成像和改善光束曝光稳定性。该系统还具有热稳定成像光学器件,可实现最佳性能和阵列放置精度。这项先进技术使XLS 200能够产生高分辨率、低线宽、高覆盖精度的图像。XLS 200使用具有独立控制的独立柱的双梁体系结构进行曝光。此模块化设计可实现更高的吞吐量和更高的性能。此外,平台还包括一个5轴级,用于在曝光过程中精确对准掩模和晶片。XLS 200还具有灵活且可扩展的体系结构,能够集成高级流程和选项。这包括可选的光刻功能,如SmartSource、Focal@@-Depth、Multi@@-Level、Multi@@-Patterning、Polarity和Low Dynamics。这允许用户自定义他们的进程，并以更少的迭代获得更高的收益率。XLS 200旨在通过简化单元校准过程来降低开发成本。它包括快速测量激光高度和聚焦系统,可节省时间并减少操作员干预。此外，该机还包括一块可拆卸的校准板，用于自动校准。Mercury XLS 200 Wafer Stepper结合了领先技术,是先进半导体制造应用的理想解决方桉。它通过简化校准和提高吞吐量,提供卓越的性能、提高的产量和节省成本。