二手 ULTRATECH Multipol #293607366 待售

ULTRATECH Multipol是一种用于半导体器件制造行业的晶圆步进器。它是一种高度精确、高产的工具，设计用于在半导体芯片上绘制微结构图样。它生产尺寸从一微米到32微米不等的设备。Multipol利用由X-Y电动扫描级组成的扫描灯，在晶圆表面上形成微观结构。扫描灯装有多种可直径5-50毫米的物镜，入射角（AOI）分别为0-90度。ULTRATECH Multipol利用可变大小的级，可以在长达12英寸的晶圆基板上产生模式。它能够将图像从4X投影到50X,并且可以灵活地对步骤和重复、扫描或两者的组合进行阵列设计。其分辨率优于1nm,最大曝光时间为10毫秒。这种步进器的特点是具有高强度、光密的照明，提供了最佳的图样性能。Multipol还利用了先进的控制算法，允许精确的步进控制和优化。它还配备了可编程的用户界面，允许用户自定义自己的模式能力。用户界面可以根据每个应用程序的特定要求进行定制，以确保设备能够最精确地执行其预期功能。此外,ULTRATECH Multipol还包含许多安全功能,以确保晶片和设备在操作过程中不会损坏。这包括一个防反射快门、一个光束对准器和一个真空卡盘，以确保在维护过程中粒子不会损坏。步进器还配备了自动对焦系统和视觉校正系统，允许镜头调整到晶片表面，以便在制图过程中保持最高精度。总体而言，Multipol是一种先进的晶片步进器，能够精确地对大小晶片进行阵列设计。它提供了在步进重复模式和扫描模式下操作的功能,其用户界面可以定制以满足客户的特定要求。它还提供了许多安全功能来防止设备损坏。所有这些因素都支持其在半导体器件制造行业的成功。