二手 ULTRATECH NanoTech 160 #9398756 待售

ULTRATECH NanoTech 160是一种晶圆步进器，专为跨越多个行业的光刻应用而设计。它是一种高度可靠的光刻工具，有助于降低高质量芯片生产成本。它为各种高性能芯片设计提供了简化的操作、增强的设备可靠性和无与伦比的曝光后性能。NanoTech 160能够通过扫描硅晶片的表面来产生纳米级特性和复杂的设备。它采用了复杂的多场均质迭加系统，以确保光刻工艺的所有层均匀曝光。此单元还允许步进器在曝光时精确对齐薄膜蒙版。ULTRATECH NanoTech 160还具有自动扫描和故障恢复功能。此外,步进器具有高吞吐量、节能的数字扫描头和像素快门、高可重复性以及能够控制曝光以满足刚性生产规范。扫描头集成了最先进的自动聚焦机进行精确扫描，还具有完全同步的自动刷新抖动技术，以减少刀具的重新加工和报废。步进器还提供替代的基板曝光选项，非常适合低k电介质电阻率。NanoTech 160还提供自动曝光控制和校准,以最大限度地提高打印口罩的性能并减少曝光错误的可能性。其高能LED曝光灯减少了曝光时间，从而提高了生产吞吐量和产量，同时确保了清洁曝光过程，没有额外的清洁步骤。ULTRATECH NanoTech 160旨在在各种工艺条件下提供可靠的性能。薄膜光伏、显示器、医疗器械和生物技术等行业都依赖NanoTech 160的可靠运行，使其成为市场上最好的晶圆步进器之一。