二手 ULTRATECH Sapphire 100 #293645247 待售
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ID: 293645247
晶圆大小: 4"
优质的: 2011
Stepper, 4"
Reticle size: 3 x 5
Lens resolution: 2 µm
I-Line illuminator wavelength
TAZMO Loader
PC
2011 vintage.
ULTRATECH蓝宝石100是专门为MEMS、光电等半导体应用而设计的多场分层晶圆步进器。它是配备了最新光刻、计量和自动化技术的先进工具。该工具具有超快、半微米以下的步长，以及± 1微米的最大可重复精度。它还提供高度灵活的驱动器脉冲、过程参数和定制,以确保企业级生产。蓝宝石100是一种经济、高性能的步进器,非常适合要求极高精度的应用。它能够准确无缝地提供精确的图桉形状、特征大小和位置精度。这使得它成为制造微包装、MEMS、SOI、高级开关和多光圈镜头等基本设备的绝佳选择。步进器配备了强大的高速控制器和优化的光学器件，由多个镜头以及多色和高功率LED照明源组成。该系统可扫描1 μ m及以上的5倍步长的基板,最大工艺精度± 0.5 μ m。多域分层阶梯式扫描技术减少了上市时间,提高了吞吐量,每小时超过600个部件。ULTRATECH蓝宝石100经过微调，提供卓越的图像质量，更大的吞吐量和谐波照明优化。它还具有一个现场清洁系统，以确保严格的污染控制标准，以及诊断和自动化的过程数据分析，以尽量减少废料和提高产量。此外,Sapphire 100还具有一个用户友好的界面,用于编程复杂的几何形状,并为多个用户帐户提供了改进的工作流选项。总体而言，ULTRATECH蓝宝石100是MEMS、光电和其他半导体应用的重要工具。精确度和灵活性相结合，其卓越的图像质量、多场分层扫描、先进的控制系统和原位清洗，使其成为高性能、高性价比生产的理想选择。
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