二手 ULTRATECH Sapphire 100 #293645287 待售

ID: 293645287
晶圆大小: 4"
优质的: 2011
Stepper, 4" Reticle size: 3 x 5 Lens resolution: 2 µm I-Line illuminator wavelength TAZMO Loader PC 2011 vintage.
ULTRATECH蓝宝石100是一种高精度、高通量的光刻设备,能够在各种基板上产生精确的图桉。该步进器专为先进的研发应用而设计,使制造商能够准确高效地将薄膜和光子结构转移到基板上。蓝宝石100具有一系列技术优势,使用户能够准确地重现高保真度和可靠性的图桉和结构。系统的集成模式生成器自动、方便地生成最精确的结构,在整个过程中无需用户干预。此外,该单元可产生高达1.5 μ m的高保真分辨率。ULTRATECH蓝宝石100还具有增强的扫描日场大小,可产生0.25 μ m以下的线宽,并且能够使用宽达5英寸的晶片。此步进器还具有与各种第三方软件和系统集成的接口,允许轻松集成数据集,从而使用户能够快速生成准确的模式和设计。蓝宝石100具有自动扫描日效率和自动聚焦监控功能,可共同确保最佳准确性和可重复性。这台机器还具有多种曝光选项,可产生最高的微观结构保真度,如中等分辨率口罩和细线设计。该工具还配备了先进的温度控制、降尘能力和低振动水平,有助于提高资产的整体精度和性能。ULTRATECH蓝宝石100配有多种硬件和软件配件,包括自动加载/弹出功能、激光光源、报警模型以及各种联网和数据管理选项。这款设备设计小巧、符合人体工程学,用户友好,易于安装和维护。该系统还能够整合到广泛的制造业务中。总之,蓝宝石100是一种高精度、高通量的光刻装置,专为先进的研发应用而设计。这台机器具有一系列技术优势,包括阵列发生器、高保真分辨率、增强的扫描日场大小、曝光选项、温度控制、降尘能力和低振动水平。它用户友好,可轻松集成到各种制造操作中。
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