二手 ULTRATECH Sapphire 100 #293649647 待售

ULTRATECH蓝宝石100晶圆步进器是一种先进的光刻设备，设计用于半导体应用中的光质量。蓝宝石100能够处理直径达6英寸的晶圆，精度为2微米。它还提供各种迭加对齐和吞吐量选项,以确保高密度阵列或复杂结构的精确阵列。ULTRATECH蓝宝石100配备了动态对焦系统、6英寸标准镜头和先进的成像能力，包括一个允许动态调整曝光参数以达到最大模式精度的自适应观察器。蓝宝石100还允许选择一系列不同的曝光参数，包括曝光时间、剂量和脉冲数量。该单元具有专有的NEGA π光掩码程序,可用于精确对齐微米精度高达6微米的结构。ULTRATECH蓝宝石100具有处理多种材料类型的能力，包括硅、砷化氙和硅的，以及厚度高达1000埃的薄膜。这台机器是双向的，这意味着它可以用来曝光接触模式或近距离接触打印产生的光栅。蓝宝石100有一个用于自动晶片装卸的车载机器人处理程序，以及一个用于精确能量读数的数字能量计。此外，该工具利用先进的光学，包括可旋转照明，以确保最佳的光传输。ULTRATECH蓝宝石100包括两种不同的控制选项-客户定义的控制资产和自动曝光/智能照明模型,允许用户设置和控制曝光和聚焦参数,而无需任何外部动手干预。该设备还能够进行实时监控，对光刻工艺的结果提供快速反馈。蓝宝石100专为快速、精确的光掩码设计,适用于广泛的应用。它结合了可调节的曝光参数和精确的光刻能力，可以对复杂的密度结构或非常小的结构进行精确的制图。该系统结合先进的光学、自动晶片处理和智能照明，进一步确保了最佳光刻效果，达到最高性能标准。