二手 ULTRATECH Saturn AP 300 #9163161 待售

ULTRATECH Saturn AP 300晶圆步进器专为半导体工业中先进的光刻应用而设计，特别适合于高容量的应用和快速的器件处理。AP 300能够处理直径达300毫米的晶片，并配备了专利反流成像设备，无论基材尺寸如何，在所有工艺参数中都能产生高水平的均匀性。该系统可达到低至0.25微米的分辨率，为先进的设备编组提供了细线模式。AP 300由双通S形扫描级和两个彼此垂直的扫描轴构成，以实现全晶圆覆盖。这允许精确对齐的模式具有出色的重复性和低失真。该单元还有一个可编程的溷合快门，它可以同时扫描晶圆的不同区域，同时有不同的曝光时间，堆栈拍摄，或者排除视野内的独立位置。此功能提高了吞吐量,使AP 300非常适合光掩码对齐。除了精密成像能力外，AP 300还设有自动光学对准机。高灵敏度的数字探测器用于快速确定和调整光掩模位置和步进位置,使其精度在9um以内。此功能减少了设置时间,并优化了打印结果。AP 300还具有高度自动化，包括电源故障保护、非晶圆保护、掩模标识表、自动水流监控以及具有卡带处理能力的机器人装载机。该工具还附带了一台计算机，该计算机具有用户友好的图形用户界面，用于图像修改、工艺配方、晶圆跟踪和打印晶圆信息。作为最后一层保护,该产品配备了许多故障安全功能,可在发生灾难性资产故障时立即关闭。土星AP 300晶圆步进器是一种先进可靠的高容量工作工具。由于其出色的分辨率、自动化功能和精确的扫描功能,AP 300为设备制造提供了一站式解决方桉。AP 300具有全面的功能,是高性能光刻处理的绝佳选择。