二手 ULTRATECH Saturn III 6700 #293651574 待售
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ULTRATECH Saturn III 6700晶圆步进器是一种用于制造半导体器件的精密光学光刻机。它是一个9英寸自动对齐的高级步进器,具有基于网络的体系结构和惯性多轴处理系统。这样就能够精确、精确和可重复地放置光掩模，以高速生产先进的微电子。6700系列提供卓越的吞吐量,曝光时间可持续提供0.25微米的高端产量。内置的精密运动控制允许快速、可靠和精确的定位和扫描多达8个模具同时进行。操作员界面具有触摸屏液晶显示器和全面的用户诊断功能。6700系列与广泛的光刻胶兼容，如SOL-Gel、ALD、HRG（High Resolution Glass）。6"曝光区域可以处理从6"到12"的设备大小，意味着单个掩码集可以覆盖多种设备大小。高耐受性曝光系统可确保在大范围内均匀曝光,光源输出高达3 mW/cm2,剂量曝光45-200 mJ/cm2。从多种来源（包括高分辨率位图、矢量图形、图像和文本数据）输入的通用数据可通过4 MB板载内存和批量数据输入/输出接口轻松管理。配备了硬化的工业空气轴承，土星III 6700实现了快速、可重复的多轴级运行。内置差速器反射镜可防止谐波失真,有助于确保曝光期间的可靠操作。此外，6700系列附有强大的曝光和对焦控制算法，兼容所有ULTRATECH高端光刻工具。内置曝光监视器可确保曝光条件统一且可重复,而聚焦监视器允许用户执行晶圆级聚焦控制。ULTRATECH Saturn III 6700非常适合大规模生产高端光刻重复、精度、速度和分辨率。它兼具成本效益和坚固的特点，是实现各种先进微电子项目的理想选择。
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