二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293628684 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3晶圆步进器是一种高精度、高性能的工具，专为先进的光学光刻应用而设计。它结合了卓越的光学性能、6.5英寸的大场尺寸和先进的光学设计。Saturn Spectrum 3是一个多用户系统，最大曝光面积为6.5英寸，提供高吞吐量和低拥有成本。ULTRATECH Saturn Spectrum 3先进的光学设计采用4镜成像系统，提供高宽高比、低图像失真的卓越图像质量。它还具有6.5英寸大的现场尺寸,为复杂的设备设计提供了更高的设备覆盖范围。它提供了卓越的聚焦深度和较低的NA,非常适合低k1关键应用。除了先进的光学外，Saturn Spectrum 3还拥有高速Imation驱动器和负载端口。这提供了快速高效的晶圆处理,从而提高了吞吐量和生产率。ULTRATECH Saturn Spectrum 3还具有广泛的集成晶圆处理选项，包括自动对准、基于视觉的对准校准系统和集成激光干涉仪。这可以提供卓越的对齐精度和吞吐量,使其成为大批量生产运行的理想选择。Saturn Spectrum 3可以在单用户和多用户模式下操作。它可以通过标准网络协议轻松连接到其他工具，允许远程访问，并且与基于Windows的计算机完全兼容。它直观、菜单驱动的界面使其易于使用,并且有多种附加软件选项可用于自定义和优化特定操作。总体而言，ULTRATECH Saturn Spectrum 3是高精度光学光刻应用的绝佳工具，光学性能优越，吞吐量高，拥有成本低。它具有先进的光学功能和集成的晶圆处理功能,使其成为高级设备设计的宝贵工具,其直观的用户界面和广泛的软件选项确保了它可以为任何特定应用程序轻松定制。