二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293642851 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是为半导体制造应用而设计的最先进的晶圆步进器。它结合了成本效益、低维护和更高的分辨率以及卓越的准确性和操作效率。Saturn Spectrum 3采用最新的步进场光刻技术，提供卓越的晶圆性能。该设备采用两级光刻工艺,可实现更高的精度和更小的特征尺寸。这种创新还可以实现比竞争模型更高的对齐精度。ULTRATECH Saturn Spectrum 3还配备了高精度、高居住度的曝光系统，以确保快速可靠的处理时间。这台设备由两台高强度光源供电，提供一致、可重复的性能。用户可以调整曝光时间，保证高质量的效果。Saturn Spectrum 3还包括多项高级自动化功能。这些功能包括自动、可重复的步进过程控制,可确保更高的跟踪精度,以及可帮助保持对齐精度的分边配准和避免冲突。此外，该机还包括一个刀具校准和监控工具，以确保最佳晶片性能。此外，ULTRATECH Saturn Spectrum 3提供晶圆植入和退火能力。该资产利用先进的电子束光刻模型，实现了植入物的高品质抗拒特性，允许前端和后端过程的集成。最后，Saturn Spectrum 3还具有直观的用户界面，便于操作和过程控制。该设备利用现代图形显示技术，对当前系统状态和工作流程进行清晰、全面的显示。总体而言,ULTRATECH Saturn Spectrum 3是一款功能强大且经济实惠的晶圆步进器,旨在帮助半导体制造商保持工艺和性能精度。此单元结合了光刻方面的最高性能、精密的自动化以及用户友好的界面,以提供卓越的晶圆性能。