二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293761611 待售
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ID: 293761611
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2001
Stepper, 6"-8"
Type: Silicon
Flat notch wafer
Reticle size, 6"
DOF Monitor
Lamp intensity
i-Line and GHI
Resolution: 5 µm
(3) GHI Stepper
12-Slots reticle library
GENMARK Robot and controller
GENMARK Pre-aligner
Wafer chuck, 5"-8"
WAS Alignment
Wavelength filter
Illuminator
P/N:5000533 USHIO USH-1003FA Lamp
RASCO TBW-UD60S Chamber
Illuminator performance:
GHI Lamp: 1425 mJ/cm²
i-Line lamp: 455 mJ/cm²
2001 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3是为半导体工业的高端光刻成像而设计的先进晶圆步进器。它采用了9轴直线电机驱动的扫描级和高精度双镜计量设备，以获得更高的分辨率。自动晶圆交换系统允许不间断晶圆处理，与2英寸、4英寸和6英寸晶圆兼容。步进器还展示了一个高精度的光学对准单元，可以调整以优化单电平和多电平电阻的成像。Saturn Spectrum 3由直观、用户友好的图形用户界面驱动,它有助于设置、对齐、晶圆交换和作业控制。"智能自动对焦机"等高级功能可在所有类型的晶圆过程中实现高效成像。设置和校准时间是最小的,"熔化延迟"和"循环跟踪"等功能可提高成像一致性并缩短工艺开发时间。步进器还包括一套广泛的过程优化算法和成像工具,如"MaxRepeatTM"和"Free LinTM",它们为各种过程步骤和材料提供了最佳的临界尺寸和线宽控制。此外,ULTRATECH Saturn Spectrum 3能够与一系列晶圆处理系统集成,并且可以通过内部工具或使用基于以太网的通信链路的远程位置进行控制。Saturn Spectrum 3也提供多种环境设计以方便细粒环境控制。通过使用专用的"主动监控资产"，操作员可以控制晶圆级的温度、湿度和振动水平，以最大限度地提高晶圆利用率和产量。此外,步进器还具有"自动烘烤存在"功能,以启动最佳烘烤条件,而"干停止"功能则消除了在诸如剥离和PR脱壳等稳定性关键过程中的潜在污渍。在ULTRATECH Saturn Spectrum 3中内置了灭火和紧急关闭等安全功能,以及可吸收的底板,以减少振动。它符合最严格的安全标准和认证，因此适合超低污染和超精密成像过程。土星光谱3是生产高精度、下一代半导体晶片的首要晶片步进器。
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