二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9182395 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是为光刻处理而设计的最先进的晶圆步进器。作为步进器，它能够通过使半导体晶片暴露于电磁辐射而产生电路特性，如晶体管。Saturn Spectrum 3利用先进的紫外线、光学和其他波源来优化成像和最小化光处理时间。步进器具有令人印象深刻的2 µm分辨率和18mmfield的自动现场缝合。其刚性结构能够快速准确地放置特征,使扫描速度提高到100毫米/秒。它还具有复杂的波前分析和对准系统，非常适合晶圆细化和精确放置。ULTRATECH Saturn Spectrum 3采用双元件光刻系统，采用自上而下的对齐方式。这使得它能够高效率地处理晶片和暴露在直径达18mm的光学结构。它还具有高稳定室和负载锁,可支撑工作温度范围为10-40°C的5英寸基板。步进器附带了一个与Windows 10和Linux操作系统兼容的用户友好的软件界面，并同时制造了一个孤立的和法拉第的笼子，以保护敏感的数据和知识产权。它具有220VAC、三相的电源要求,还支持以太网、RS232/485或I/O接口通信方法。这种步进器非常适合半导体工业需要的光刻成像、化学放大、蚀刻等先进光刻工艺。无论是用于研究领域、工业领域，还是医学领域，土星光谱3都可以备份其达到目前和未来晶圆加工标准的能力。