二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9186993 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是一种最先进的晶圆步进器，提供了半导体製造的自动化方法。设备设计方便各种集成电路层的高通量生产。采用集成的视觉对准系统，能够实现高分辨率的配准和曝光精度，确保最可靠的层对层均匀性。Spectrum 3利用具有4英寸晶圆匹配能力的立体成像,并具有具有5轴扫描能力的四级XY自动定位装置。该机还具有先进的阶段控制工具，具有自动晶圆交换资产和集成真空控制模型。这样可以方便地从盒式磁带和6区加热炉中装卸晶片。有了这一特点，晶片前后两侧均可均匀热暴露。为了进一步提高精确曝光精度，该设备还配备了可选的短弧高强度放电（HID）灯。Spectrum 3利用计算机驱动的光学级和视觉检查系统,在开始曝光之前检查晶圆阶梯边缘以进行注册。它具有超高分辨率（900nm）配准功能,具有单一和双阵列功能。该单元还具有高度的灵活性,可与各种晶圆处理环境完全兼容,并且可以处理从0.25um到28nm的当前技术。该机器拥有强大的软件包,旨在最大程度地提高吞吐量和效率。其用户友好的图形用户界面（GUI）提供实时和离线数据分析以及2-D和3-D可视化工具。因此,Spectrum 3是精密半导体制造环境的绝佳选择。