二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9280616 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是一款最先进的晶圆步进器，旨在满足苛刻生产设施的需求。这种土星光谱的特殊模型提供了前所未有的性能、准确性和可靠性。Saturn Spectrum 3的动态视场可达10°，使得晶片在1 µm的分辨率下对齐成为可能。为了达到这样的精度，步进器配备了高性能扫描仪、集成精密移动执行器、高精度级和高速处理器。为了保持步进器的准确性和可重复性，ULTRATECH将柔性引导技术纳入了机器的结构。这种设计确保晶片在对齐时保持稳定，即使受到振动或错误移动。集成精密移动执行器还有助于确保准确和可重复的性能。利用微型直线电动机，执行器可以以x、y、z轴移动步进器，最大速度为40mm/s。这种高速致动通过集成自动对焦（AF）功能进一步增强，使机器能够自动识别晶圆的最佳对焦位置。为确保大幅节省成本,ULTRATEK为ULTRATECH Saturn Spectrum 3配备了多种软件工具。步进器的软件包包括一个统计反馈程序、一个微观检查程序和一个跟踪报告功能，以监测机器随时间推移的性能。而且土星光谱3是为了容易融入生产线而设计的。它具有与自动化处理系统的标准通信协议的兼容性，并且可以通过附加硬件组件进行升级以提高性能。ULTRATECH Saturn Spectrum 3具有出色的性能、坚固的结构和易于集成的特点,能够保证可靠、准确的性能,满足具有挑战性的生产要求。