二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9281727 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3是一种高精度晶片步进器，设计用于排列各种尺寸的基板和晶片，作为小晶片设计制造的一部分。该产品采用了最先进的机器技术，并将其与先进的光学技术相结合，允许在基板或晶片上极精确地应用光刻图桉。Saturn Spectrum 3由安装在精密运动系统上的高分辨率镜头设备组成，一起允许最大精度的对准和模式应用。高精度透镜装置位于晶片级磁头内，提供可靠的步进性能和精确控制的运动。为了进一步确保图样投影到基板或晶片上的精度,ULTRATECH Saturn Spectrum 3配备了图像失真校正机,使步进器能够快速对齐基板或晶片。此刀具还可确保最佳阵列放置,因为步进器在工艺室中的不同位置移动时能够进行自我校准。Saturn Spectrum 3的设计目的是提供X和Y轴上25毫米的全晶圆或基材尺寸上1微米的最大工艺分辨率。曝光模式范围从0.25到5微米，产生非常精确的设备和微观结构。步进器允许同时使用光刻胶和干膜光刻，允许特殊材料处理和增强功能。此外,步进器还配备了内置的自动设备识别资产,为部件注册提供准确的部件,以确保精确的模式对齐。除了先进的光学和机械设备外，ULTRATECH Saturn Spectrum 3还包括一个最先进的软件，能够最大限度地控制过程。该软件提供实时数据解释以及所有处理步骤的在线可追踪性。此外,它还允许对不同类型的光刻进行精确的图样绘制和调整。总体而言，Saturn Spectrum 3是一款顶级的晶圆步进器，其高度先进的光学和运动系统提供了非凡的精度。它确保了不同类型光刻的精确对准和图桉应用，使其成为生产高度精确的器件和微结构的理想工具。