二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9293521 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3晶圆步进器是一种半自动工具，设计用于生产过程中半导体的精确高效对准和曝光。此工具具有9 "x9" x-y级、两个8"循环级和600mm景深。它利用计算机控制的数字模式发生器（PG），提供亚微米分辨率，为高吞吐量提供重复精度。Saturn Spectrum 3晶片步进器建立在一个健壮的框架上，在工具处理晶片时提供相当大的稳定性。它的两个8英寸循环赛阶段在曝光时提供了晶圆的精确对准和定位，允许双面处理、多级制图和高吞吐量。此外,刀具的所有三个轴都可以协同工作,以促进半导体处理的最先进操作。该工具包含的PG驱动软件套件的一部分是自动对齐功能,可在晶圆的设置和微调过程中提供帮助。这一功能不仅提高了吞吐量，而且还有助于确保晶圆在每层曝光时的最佳对准。2000线/毫米光学系统消除了在较高的NA水平下可能发生的几何失真和光耀斑,从而提供清晰的图样图像。结合聚焦离子束涂层,ULTRATECH Saturn Spectrum 3晶圆步进器提供了一个完全自动化的系统,可以消除手动过程。它的低热漂移确保了温度补偿的准确性，而低维护成本使其成为各种工艺和基板的理想工具。此外,它的计算机控制软件确保了准确性和可重复输出,即使在广泛的生产周期中也能提供灵活性和良好的效果。Saturn Spectrum 3晶片步进器提供先进、自动化的半导体加工,精确度和精确度.其计算机控制的精确度、x-y能力和双面加工使其成为生产最先进基板的强大工具。