二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300e #9221672 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 300 e是一款高性能晶圆步进器，旨在提供卓越的分辨率、吞吐量和精度。利用最先进的成像系统,Spectrum 300 e能够处理150 mm晶圆,使其定位精度达到2微米。2 X远心镜头利用超低失真，在整个可视场上提供最佳聚焦和均匀图像。这使得步进器能够在整个晶圆尺寸范围内产生最佳分辨率。Spectrum 300 e还具有两个光子计数器扫描仪，利用激光束精确测量成像系统的传递函数、漂移和噪声。这不仅确保了准确可靠的成像，而且还确保了即使是最复杂的蒙版也被精确地复制。晶片装载站的设计为晶片装卸提供了一个简单的接口。除了标准的操作模式外，晶片装载机还可以方便地配置为前后对齐，从而实现最佳的吞吐量。性能方面，Spectrum 300 e是市场上速度最快的晶圆步进器之一。它采用两线曝光系统,能够提供高达300 mm/秒的扫描速率,确保快速、准确地完成该过程。为确保最大效率,Spectrum 300 e附带了一套软件,可有效监控和管理步进器。除了控制步进器和晶片载荷外，软件套件还提供了模式对准、边缘检测、晶片旋转角度微调、晶片载荷场等高级功能。除了令人印象深刻的性能外，Spectrum 300 e更易于使用和维护。凭借直观的用户界面和用户可更换的部件，它可以很容易地由经验最少的人员操作。此外,步进器的设计考虑到耐用性,并定期进行报废测试,以便客户对其性能充满信心。Saturn Spectrum 300 e是一种创新和可靠的晶圆步进器,旨在提供最佳的精度、吞吐量和性能水平。它结合了复杂的成像算法和易于操作,使其成为任何实验室或生产设施的理想选择。