二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9160685 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e是一种高性能、通用的晶圆步进器，能够生产具有15 nm范围特性的晶圆。它具有广泛的模块和选项,允许各种定制级别,其高速、自动化的对准设备保证了精确的定位。晶片步进器是围绕一个电动、XY级和Z定位器设计的，用于精确的步进和重复对准，以及一个高分辨率的照明系统，用均匀的照明照亮单个晶片。步进器由安装在舞台上的交流电动机驱动，能够提供高达0.1 µm分辨率的线性运动。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E还具有高速图像捕获单元，以获取每帧高达5 Hz的晶片图像。这台机器能够检测到小缺陷和小差异,即使在尺寸小于15 nm的特征中也是如此。除了设备外，Saturn Spectrum 3e还配备了一系列程序，专门用于图样设计、检查、计量和制造工作流程管理。它还兼容与多个软件程序和标准布局格式兼容，如GDS、CDL、VHDL、CIF和OASIS，允许在定制和集成现有工作流方面有更大的灵活性。晶片步进器提供多达50个晶片卡盘放置选项,因此用户可以对齐主卡盘以优化照明和图像覆盖。它还配备了定制的、功能强大的照明设备，能够提供高达1.2 kW的紫外线照明。SATURN SPECTRUM 3 E采用了专利的闭环刀具对齐技术，在尺寸小至15 nm的特征的图样设计中，允许极其精确的位置精度。它还具有增强的晶片卡盘联锁功能,可确保晶片对准保持优化以适应多次曝光。ULTRATECH Saturn Spectrum 3 e是一种可靠、高性能的晶片步进器，能够生产功能低至15 nm的精密晶片。这款晶片步进器具有强大的照明能力、精确的对齐和通用的软件集成,非常适合各种应用程序和工作流程。