二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9232658 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e（Spectrum 3e）是一种先进的晶圆步进器，旨在为微电子制造提供高精度的基板曝光。它采用ULTRATECH申请专利的单反射计量设备,利用最新技术为任何尺寸的基板提供精确、可重复的结果。Spectrum 3 e的先进光学器件设计为提供精确的覆盖,用于沟槽、隔离、光刻、介电蚀刻等。它具有非接触、低噪音、低维护的AutoFocus系统,可快速调整以适应基板高度变化。先进的高分辨率成像和检查装置有助于预防缺陷，同时在整个领域提供2微米以下的分辨率。此外,升级后的曝光机提供灵活范围的晶圆和工艺曝光率要求.该设备采用最先进的舞台定位工具，用于精密机器人技术，确保所有焦点级别的准确性一致。其先进的多点校准对准验证并记录每一个基板的位置。Spectrum 3 e还具有定制设计的激光源,利用染料激光器和半导体激光器增强成像和蚀刻能力。Spectrum 3 e包含用于增强过程控制的完整软件包,包括为每次曝光定制配方的编程选项。该设备还配备了暴露时间和剂量精度的内部预测器。此外,业界领先的在线监控资产可为运营商提供有关设备性能的实时反馈。在安全性方面，Spectrum 3 e是UL/ENL评级的安全性，并具有运动统计跟踪模型来检测任何设备异常。此外,该设备还集成了最新的诊断功能,可帮助确保最佳安全性,同时减少停机时间。综合精密的ULTRATECH Spectrum 3e晶圆步进器是任何微电子设备的理想选择，希望最大限度地提高基板精度和工艺兼容性。其先进的光学和成像系统提供了无与伦比的准确性和过程效率,同时其全面的安全功能确保了过程的可靠性。