二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9280618 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e是为精密光刻投影应用而设计的高性能步进设备。它是一个多级系统，相控阵由三个高效镜头组成，允许拍摄到0.2微米标称。该单元具有一系列独立的光源，使该单元能够快速准确地检测边缘缺陷、特征错位或重迭。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 E具有灵活的配置，随附选装的第4镜头，用于高解析度成像。它还包括一个正在申请专利的Sample Exchange Chamber，允许用户快速无缝地切换样品。该机还具有很高的耐用性，具有持久的设计，保证随着时间的推移分辨率最高。Saturn Spectrum 3e提供了高级光学设置的功能,可以调整光学设置以输出精确的成像结果。它还包括一个创新的、高性能的相机工具。车载成像软件自动将相机参数与光刻结构同步。此外,用户还可以以全帧分辨率捕获图像,以及小至0.1微米的标称图像。该资产能够进行精细光刻工艺,如CPA（等高点精确度）或FPD（精细间距检测）。SATURN SPECTRUM 3E还包括各种可调节参数，如曝光强度、光学成像设置等。该模型允许在需要时选择并快速对齐各种掩码、晶片或其他专用焦点。最后，ULTRATECH Saturn Spectrum 3e包含一系列安全功能，如板载除尘器和温度敏感的冷却设备，其设计目的是确保最佳性能和保护措施。该系统还包括一个在发生环境事故或其他不正常情况时的保护箱。总体而言，ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E是一种高度先进的晶圆步进器，设计得可靠、高效、精确。它的许多功能使用户能够快速创建他们想要的定制光刻结果,并获得最高的准确性和专业水平的结果。