二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9293525 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e是一款最先进的晶圆步进器，设计用于高精度生产精密工程微电子产品。它是一种全自动设备，配备先进的机器人功能，旨在满足微电子产品行业的广泛要求。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E能够生产从晶片到4-Δmm尺寸的多个产品。Saturn Spectrum 3e使用专有的高分辨率曝光系统来精确定位光刻位置,自动以难以置信的精确度曝光和移除光阻的目标部件。此外，它还配备了确保最高可重复性和性能的机器人功能。例如,3 e使用6轴运动,使其能够准确地拾取和放置零件,而无需其他对齐工具。此外，3 e使用车载视觉单元验证所有运动，从而消除振动和其他环境因素造成的错位。3 e还包括一个高度敏感的计量机器，使它能够快速验证过程参数的准确性和可靠性。这包括尺寸计量学、表面计量学以及自动检查能力，以确保微电子产品的制造质量。3 e除了速度快、准确外，鉴于其高端能力也极具性价比。其高吞吐量可减少停机时间和提高吞吐量,从而获得更大的投资回报。此外,它的模块化设计允许轻松集成到一系列生产线中,而其具有竞争力的单位成本则允许全面降低生产成本。最后,3 e的设计着眼于安全性和可靠性。其智能等离子体转换器工具采用低臭氧浓度发生器（LCG）显着减少停机时间，而其尖端钝化资产确保其安全运行，使3 e能够自信地应对最苛刻的应用。综上所述，SATURN SPECTRUM 3E是一种革命性的晶圆步进器，提供无与伦比的精度、速度和成本效益。它是精密工程微电子产品生产的理想选择，可靠、经济实惠。