二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9378645 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e是ULTRATECH开发的最先进的精密晶圆步进器。它具有高精度、自动化的级,可以以比竞争对手步进解决方桉更好的均匀性和准确性移动晶片。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E使用超精确的蔡司卡尔蔡司光束路径设备在晶片上进行精确的曝光模式。光学系统由一个高功率激光、一个照明透镜和一个投影透镜组成，用来捕捉从遮罩板到晶圆上的图样。Saturn Spectrum 3 e具有先进的"自动对焦序列控制"单元（ASCS）,允许操作员针对所需的工作要求优化焦点设置。ASCS机还提供微观和微观镜头轮廓，调节激光的强度和焦点，以保证高质量的图像。SATURN SPECTRUM 3E配备了25W的固态激光器，利用直写技术减少了反冲时间，提高了写入晶圆上的图样质量。这种创新的激光工具能够扫描小尺寸的特征,具有出色的边缘敏锐度和出色的对焦深度。ULTRATECH Saturn Spectrum 3e有一个全自动的过程控制模块，允许操作员监视过程中的过程变化并提供预测诊断能力。此模块还使操作员能够根据每个晶片的材料和工艺配方调整参数,而无需手动更改步进器的设置。步进器的闭环优化能力允许以更高的精度进行更精确的阵列设计ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3E允许各种半导体电路阵列应用的高通量和精度。这种步进器为光刻、离子铣削和物理气相沉积等工艺提供了快速、可靠和经济高效的性能。它设计用于光学和热稳定材料。Saturn Spectrum 3 e提供了多种选项,例如可编程纠错工具、特殊曝光掩码、高级自动化功能、自动调整和自动对齐功能,以及支持多种在线光学和扫描技术的精密计量套件。总之，SATURN SPECTRUM 3E是一种最先进的高精度晶圆步进器，它为具有多种基材的阵列制作工艺提供突破性的性能。它具有高度准确和自动化的功能,有助于减少流程变化并提供可靠的流程性能。它是半导体工业中精密制图应用的理想工具。