二手 ULTRATECH Saturn #9089260 待售

ULTRATECH Saturn是最先进的晶圆步进器。它旨在自动、精确地对准和暴露晶片上直径最大为8英寸的集成电路和其他结构。其综合、全面的温度控制技术保持了清洁、稳定的环境，同时允许高度精确的对准和过程控制。此设备特别适合于先进的制造技术,如超细线宽、极宽比和深紫外线曝光。该系统由高端、坚固、耐用的架构构建而成，保证了长寿命的连续运行。此外,土星还提供多种高级功能,例如全域光学成像单元、协同处理体系结构和集成技术,以实现最高级别的尺寸均匀性和高精度迭加控制。集成到机器中的紫外线光源是专门为最高曝光精度和卓越性能而设计的。此外，它还支持广泛的波长和能量，可以很容易地为各种不同的过程和应用进行配置。ULTRATECH Saturn是用精密的伺服工具建造的，能精确移动照明和步进机构。光学资产的X和Y轴具有高分辨率的编码器，允许晶圆的高精度对准。此外,高级步进电机允许手动/半自动控制曝光过程。此外，土星使用专有的图像处理技术来获得更高的对准精度。它提供了一个先进的用户界面和集成的控件，以快速和准确的实时调整对齐，并允许手动和自动处理。总体而言,ULTRATECH Saturn是一款功能强大、精密的晶圆步进器,经过精心设计,能够为各种精密的制造工艺提供精确的结果。凭借其高端、坚固的体系结构和集成的高级功能,它是高效、方便的晶圆处理的理想选择。