二手 ULTRATECH Spectrum 3 #9128729 待售

ULTRATECH Spectrum 3是一种最先进的晶圆步进器,是一种先进的机器,能够在圆形晶圆上产生精细的微电子电路。作为其先进光刻系统Spectra系列的一部分,Spectrum 3具有先进的精度和准确性,同时提供了无与伦比的自动化和用户控制级别。ULTRATECH Spectrum 3具有高达2500微米/秒的一流扫描速度,能够在传统系统所需时间的一小部分内产生复杂的电路。该设备的专利脉冲调谐技术确保扫描时最小的热干扰,从而确保图像在晶圆上的精确定位。Spectrum 3支持行业标准的重复条件，允许它使用广泛的光学材料操作，包括重金属和致密蚀刻抗蚀剂。提供无与伦比的自动化级别,ULTRATECH Spectrum 3可用于单曝光或双曝光模式。在两次曝光模式下，可以使用多光刻或阶梯式曝光模式操作。此外,它还具有计算机控制的自动聚焦调整功能,可确保优化整个晶片的聚焦,从而最大程度地减少任何晶片轮廓不均匀所造成的失真。Spectrum 3的设计具有最大的灵活性和可扩展性。它有一个集成的模块化机器人系统，有八个盒式磁带，可以预装晶圆。这样就可以进行连续的自动化操作,而无需手动加载或晶圆处理。该单位也可以无人值守的方式运作，大幅降低人工成本。此外,快速更换盒式磁带允许在单个机器中使用多个晶圆大小。每个光刻室的参数可以单独编程，允许ULTRATECH Spectrum 3满足最苛刻的公差要求。该工具还具有直观的用户界面,其中包括交互式图形迭加,以帮助设置和操作选项。在ULTRATECH，提供最先进的光刻系统只是方程式的一部分。该公司提供无与伦比的服务和支持级别,确保每一项资产都达到最佳状态。ULTRATECH工程师和服务技术人员网络全天候提供安装、维护、维修和培训方面的帮助。所有这些都确保客户能够自信地依靠ULTRATECH系统来满足其所有光刻需求。