二手 ULTRATECH Spectrum 3 #9243698 待售

ULTRATECH Spectrum 3是一种最先进的晶圆步进器，利用先进的光刻技术在半导体晶圆上创建精细电路和几何形状。这台机器在单阵列和双阵列工艺中提供了卓越的精度、速度和可靠性。Spectrum 3的5轴运动控制设备有助于减少循环时间，提高均匀性和准确性。它采用集成晶片对准系统，在三维定位平台上定位晶片时提供亚微米精度，保证了晶片的优越覆盖。双轴划线头确保将图像精确地再现到石版膜上,并且扫描单元以最高30um/s的速度以衬里或盒装扫描模式均匀地曝光每个模具。ULTRATECH Spectrum 3专为过程多功能性和可扩展性而设计，这使得它可以与不同的标线尺寸和狭缝设计一起使用。它由高性能步进电机提供动力,可提供最高的机械精度和可重复性。该机还设有先进的光学平台，通过优化照明、数值孔径和对焦控制来提高光刻性能。它结合了集成的隔振技术，以尽量减少由于振动或温度造成的光刻工艺恶化。Spectrum 3的电子工具从根本上设计为最大限度地提高光敏涂层精度。它具有广泛的控制选项,包括数字显示屏和具有易于使用的图形用户界面的控制器。ULTRATECH Spectrum 3还提供了多种图像分析工具,包括CEL自动故障检测资产,它提供远程诊断功能和来自模型的实时反馈。总体而言,Spectrum 3是一种功能强大且有效的晶圆步进器,旨在确保各种光刻工艺的卓越功能。它提供前所未有的准确性、速度和可重复性,旨在简化生产过程,同时提供无与伦比的质量控制。