二手 ULTRATECH Spectrum 3 #9395523 待售

ULTRATECH Spectrum 3是一种晶圆步进器，其开发重点是为微电子器件制造过程提供精确的处理和优化。此步进器专为高分辨率光刻而设计,为制造小型特征尺寸的挑战性过程提供精确度和高通量。光谱3具有一个254纳米激光系统，该系统产生强烈的紫外线，能够在半导体晶片上书写各种先进的图样。此步进器还具有高级成像功能。晶片性能矩阵的狭缝扫描成像优化了每个晶体元件的曝光，确保了拷贝的最高质量。此外，它的数字图像稳定（DIS）特性导致了优越的迭加对准和更平滑的图像输出。ULTRATECH Spectrum 3设计具有较高的景深和优化的聚焦系统，以提高吞吐量。其先进的光学元件也增加了基板尺寸能力，同时保持了相同的聚焦和覆盖精度，同时支持5"和8"晶片。它还与包括SOG、深层紫外线环氧树脂、PIBC等多种光刻材料兼容。除了先进的光刻功能外,Spectrum 3还具有许多特殊功能。它支持各种高级功能,如基板路由、现场和跨站点缝合以及串行迭加对齐。其高吞吐量和精确度也减少了光刻控制获取反馈所需的时间。此外，这种步进器的设计采用了耐化学结构，使其能够处理传统步进器范围之外的暴露和加工条件。总体而言,ULTRATECH Spectrum 3是一种强大的晶圆步进器,专为先进的微电子器件制造而设计.通过其高分辨率的光刻能力和专门的特点，这种步进器可以提供出色的吞吐量和准确性，使其成为高度精确和技术先进的操作的完美选择。