二手 ULTRATECH Spectrum 3e #9249076 待售

ULTRATECH Spectrum 3e是一种高端、中端晶圆步进器，旨在为新兴光刻应用的需求提供经济高效的解决方桉。该步进器设计用于提供晶圆的精确和可重复成像。Spectrum 3 e能够以精确和可重复性的方式产生质量最高的晶片图像，并为关键光刻参数提供卓越的工艺控制，以实现一致的性能。ULTRATECH Spectrum 3 e具有一系列高级功能和强大的工具,可提高吞吐量和输出精度。用户友好的接口设备可以精确控制成像参数和快速设置,使这种步进器非常适合快速周转时间和高质量的结果。该机的光刻头提供可变的数值孔径和偏转感应，提高步长和可重复性，而不影响精度。此外，集成光学均衡器为输入和对齐具有挑战性的标线提供了精确的精度。步进器还包含一个集成的迭加测量系统,该系统提供3-D层和遮罩图像高度的非接触、无损测量。此外，紫外线LED或汞弧灯可用于曝光，允许灵活地优化工艺和分辨率要求，同时保持低颗粒引入和图像质量。集成的标线检查单元具有卓越的分辨率能力，允许更高的吞吐量和产量。Spectrum 3 e的高级标线扫描仪可以精确检测小至0.3微米的缺陷，允许检测甚至最具挑战性的缺陷和异常。这台机器还支持倾斜和轮廓视图的2-D和3-D扫描功能。ULTRATECH Spectrum 3 e还提供了一系列其他功能,有助于其成为高性能、经济高效的工具。它提供了真空缓冲、可调节的高度级和自动级监控资产，可以在关键参数发生意外变化时向用户发出警报。此外，先进的MOSFET干泵控制着气压和气体流动，而质量流量控制器则有助于确保清洁环境和防止污染。Spectrum 3 e是一种可靠且功能强大的晶圆步进器,可提供非常精确且可重复的成像解决方桉,满足您所有的光刻需求。其强大的功能和先进的技术使ULTRATECH Spectrum 3 e能够提供卓越的性能,最终提高了质量并提高了产量。