二手 ULTRATECH Star 100 #293617180 待售
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ID: 293617180
优质的: 2006
Stepper
Illumination field size: 39 x 18 mm
Light pipe type: Diffuser
Field size: 30 x 18 mm
MVS Type:
Patmax
Series 2 bridge
Flipper less
Reticle size: 3" x 5"
PC With windows 2000 Platform
Air probe type: Round
Edge switch: Air probe
Theta stage: Pop-up
Wafer handler:
Round chuck, 4"
Autoloader, 4"
Options:
Chuck and autoloader, 5" and 6"
Upgraded to automation robot system
2006 vintage.
ULTRATECH Star 100是为先进的光刻工艺而设计的晶圆步进器。它为计量和检查等各种中央过程提供了出色的分辨率和准确性,从而使生产过程更加容易和高效。ULTRATECH STAR100是一种先进的光刻步进器,能够处理范围广泛的晶圆尺寸,从6英寸到12英寸。它具有350 W灯、0.25-4.00 NA数值孔径折射光照的高功率UV光源以及10X/6X的光学还原。这使设备能够创建具有良好景深、聚焦深度和高对比度图像功能性的高分辨率图像。Star 100配备了位于晶圆平面和步进重复级别的定位系统。这提供了快速重复定位的高精度和较高的步进和重复率,从而可以更快地覆盖较大的工艺区域,同时保持高精度的工艺。此外,步进器还配备了电动晶片级,可实现快速、精确的晶片对准。STAR100还具有交互式用户界面,简单易用。用户能够访问应用程序软件主机,以图形方式表示和分析数据。这允许用户查看图形和数字格式的数据。此外,用户界面还可用于设置和控制曝光参数。ULTRATECH Star 100是光刻晶圆步进器行业的领先者,为高级应用提供卓越的分辨率和准确性。它具有电动晶片定位系统和用户界面,便于设置和操作。此外,它的高功率UV源允许创建具有良好景深和聚焦深度的高分辨率图像,从而允许在每个图像中创建更精细的细节。ULTRATECH STAR100是需要强大可靠的光刻步进器的用户的完美解决方桉。
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