二手 ULTRATECH Star 100 #293809191 待售
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ULTRATECH Star 100是世界领先的晶圆步进器,可实现极精确、高速的晶圆处理。利用最新的激光扫描技术,ULTRATECH STAR100提供先进的功能和更高的精度,以实现最高的生产效率。虽然Star 100适合2"到8"的不同晶圆尺寸,但它是专门为8"晶圆设计的。它具有355nm的激光波长,可以对不同的材料进行可靠的处理,并具有四个机动化级,可以精确地重复显微镜调整。前述机动化级具有纳米分辨率,对纳米结构比例特征进行了精巧的图样设计。该机可进一步适应干涉测量能力。利用最新的晶片定位技术,STAR100采用低型级设计,采用垂直直线电动机,提供高加速度、快速定位和极稳定的性能。该装置还具有扩展的动态范围和出色的步进精度。通过3D模式测量或二维模式识别,其先进的集成模式识别功能提供了可靠高效的处理。ULTRATECH Star 100凭借其独一无二的模式识别能力和业界最小的舞台运动,实现了高端芯片和光学元件的显着更高的吞吐量。ULTRATECH STAR100包含一系列软件技术,使用户能够为各种产品创建定制的扫描和过程操作。它还配备了表面和边缘提升增强基板处理和自动加载模块,以准备基板方便和准确的定位和处理。此外,它与扫描电子显微镜先进的集成,使材料成分和缺陷的实时可靠和快速的检测。Star 100单元提供可靠的电源和操作控制。它的F-theta镜头减小、激光扫描仪头组件和其他组件都集成到单个封装套件中,从而提供了最大的用户便利和最小的停机时间。总体而言,STAR100是一个全面、全面的工业加工解决方桉。凭借其直观的设计和高级功能,它使用户能够实现无与伦比的敏捷性能和精确度。
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