二手 ULTRATECH Titan 4700 #149700 待售

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ULTRATECH Titan 4700
已售出
ID: 149700
优质的: 1997
Wafer stepper, 5", 6" & 8" Semi-auto 2.0 micron lens 8" Universal Chuck 1996 vintage Pre-aligner-Alignment System: MVS overlay <500nm, 3s 1000W illuminato Includes chamber 1997 vintage.
ULTRATECH Titan 4700是一款先进的晶圆步进器,设计用于高容量、高精度的光刻应用。该设备具有多种功能和灵活性,使制造商能够创建最详细、分辨率最高的图像,同时保持无与伦比的吞吐量和成本效益。Titan 4700是一种5轴晶圆步进器,采用ULTRAFETCH技术设计,无论产品复杂程度或体积如何,都能实现更快的吞吐量和最大精度。该系统由全场接触成像柱、高分辨率层宽场3维运动控制器和高速级组成。ULTRAFETCH技术将扫描和投影过程结合在一起,达到最高精度,即使在高速操作时也是如此。ULTRATECH Titan 4700采用全场平面成像和ULTRAFETCH技术设计,利用精密光学器件在大面积提供平坦、一致、高分辨率的图像。该设备还提供具有多种选择和分辨率的串联光学功能,使制造商能够专注于小型、详细的功能或大型区域。泰坦4700具有先进的五轴运动控制机,包括舞台和标线的独立控制位置,使制造商在定位时具有很高的灵活性和精度。它还采用了用户友好的设计和简单、直观的操作,共同提供了更高的安全性和可靠性。ULTRATECH Titan 4700融合了高速舞台和五个自由轴的立体运动控制器。这包括选择单个和多站点的标线,以及为低失真提供喷射驱动器或精细气泡控制的阶段。Titan 4700还被设计为与最常见的晶圆基板兼容,使用户能够轻松地移动到不同的基板上,而无需将工具从一个基板重新校准到另一个基板。此外,资产的维护设计较低,不需要润滑或调整部件。总体而言,ULTRATECH Titan 4700先进晶圆步进器的设计满足了光刻应用在吞吐量、准确性和成本效益方面的最高要求。Titan 4700凭借其全场平面成像、ULTRAFETCH技术、高速级和三维运动控制器,为优化光刻生产提供了全面的解决方桉。
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