二手 ULTRATECH Titan 4700 #293628670 待售

ULTRATECH Titan 4700晶圆步进器是一种最先进的精密光刻机，设计用于微电子器件的快速制造。它能够大批量生产扇出晶片、射频器件、显示器、基板和其他微结构组件。泰坦4700步进器具有高速、多级、扫描成像设备，能够精确、均匀地沉积和转移晶圆表面的光刻胶层。凭借其可重复的精度，ULTRATECH Titan 4700非常适合在12.5和15.2厘米晶圆上批量生产亚微米特性。Titan 4700步进器配备了Nicolette双光束系统,这是一种双层双波长激光源,可同时产生HeNe和KrF光束,从而提高蚀刻性能和薄膜质量控制。它还具有一个鸽子棱镜分束器和一对宽视场冷凝器透镜，这使得它能够方便地成像组件下降到0.25 µm具有卓越的精度。此外,ULTRATECH Titan 4700还提供了非常精确的步进对准,以确保尽可能最精确的生产,以及自适应光学器件,以校正光学单元中的任何像差。Titan 4700步进器利用晶圆级、盒式到盒式的处理机器，方便快速、高效地装卸晶圆。其先进的真空和气体处理系统为清洁、高质量的晶圆生产提供了必要的环境。ULTRATECH Titan 4700的用户还可以将机器配置为自动对齐晶片，以实现卓越的蚀刻重复性。此外，他们还可以对UMARA™工具（通用掩码和标线对齐）进行编程，该工具非常精确地将掩码和标线与晶片对齐，以便进行可靠、可重复的处理。最后,Titan 4700具有提高生产效率的功能,如工艺基准标记、双级阶段定位、自动曝光和焦点跟踪、现场匹配以及可定制的配方加载。这些特性,加上ULTRATECH Titan 4700的大型特性尺寸和无与伦比的精确度,使得这种晶圆步进器非常适合经济高效、大批量生产微电子元件。