二手 ULTRATECH Titan 4700 #293751572 待售

ULTRATECH Titan 4700是一款高性能的晶圆步进器，专为多图样光刻应用而设计。它能够拍摄不同角度和深度的高分辨率照片，并在包括硅、陶瓷和复合材料在内的各种基板上提供高产图样。Titan 4700通过将过程自动化和计量功能与高分辨率成像设备相结合,旨在减少周期时间并简化操作。成像系统使用先进的高速光学器件和一个纤薄的光掩模来产生高清晰度图像,线性图像失真小于0.5%。晶圆步进器还优化了曝光工具的曝光特性，以便在阵列制作过程中提高精度。该单元由强大的高速处理器和数码摄像机提供动力,可提高准确性和灵活性。快速的处理功能使步进器能够从较小的光掩码产生复杂的图样。曝光工具有几种曝光模式，包括最大聚焦的远心扫描模式和优化的窄角曝光模式，以便在不同基板上进行高度精确的成像。ULTRATECH Titan 4700还包括一台自动化的精密对准机，以更高的精度提高多步光刻工艺的效率。有了全自动对准工具，机器就能以亚微米精度精确调节掩模位置。这种能力缩短了整个周期的时间,并提高了高产模式的生产效率。资产还具有高级计量功能,包括对齐计量和模式计量,可实现高分辨率性能。对齐计量法允许进行过程中的测量和诊断评估，以确保模式的准确性和质量。模式计量为更高的质量控制提供了额外的测量，如模式轮廓分析、横截面特征映射和模式可比性。泰坦4700是一种最先进的晶圆步进器，旨在优化光刻工艺，提高吞吐量。其先进的成像模型和复杂的图样处理能力可提供高分辨率的成像和在各种基板上的精确图样处理。自动化的精确对齐和计量功能可实现更高质量的结果和更好的周期时间性能。凭借其多功能性，ULTRATECH Titan 4700是多步光刻工艺和高产图样应用的理想选择。