二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #293671472 待售

ULTRATECH UltraStep 1500是最先进的高精度晶圆步进器。该设备设计用于半导体光掩模制造、光刻和电路计量。UltraStep 1500具有高重复性和准确性、快速循环时间以及多种功能丰富的检查和测量功能。ULTRATECH UltraStep 1500是一款全自动晶圆步进器，配有直观的触摸屏显示屏，用户友好操作。该系统为200 mm和300 mm晶圆提供了可调晶片支架,提供了出色的跳接灵活性。而且，它容纳了广泛的基材，包括厚膜、基材、玻璃和半导体。为了获得更高的精度和可重复性,UltraStep 1500配备了大直径、高性能的镜框和各种先进的光学元件。这包括一个专有的镜头设计，它提供了很长的工作距离，增加了可用的曝光面积，同时保持了高分辨率的性能。步进器还采用了高分辨率的镀锌扫描仪、快速准确的编码器单元，以及用于复杂曝光的先进激光自动对焦。ULTRATECH UltraStep 1500采用多用途的舞台结构设计,便于与各种计量工具集成。这允许自动进行图像捕获、边缘检测和丢失区域测量。该机还配有模块化照明设计和精确的光学对准工具，具有高Q可重复性，可重复、可靠成像。UltraStep 1500配备了高精度的舞台资产,易于与用于晶圆装卸的机器人处理系统集成。低漂移运动控制器进一步确保准确和可重复的定位,以便在整个生产运行过程中保持公差。总体而言,ULTRATECH UltraStep 1500是一种精密且用户友好的晶圆步进器,专为在光掩模生产、光刻和计量中的精确应用而设计。其高性能的光学和强大的舞台模型提供了准确性和可重复性，而其模块化组件、机器人加载和直观的用户界面则确保了快速循环时间和轻松集成到现有系统中。