二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #293819982 待售
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ULTRATECH UltraStep 1500是为生产集成电路器件、液晶显示器和其他先进半导体元件而设计的光刻设备。这种行业标准的生产工具使用先进的光学、集成的运动控制系统和自动化的测试设备来创建精确的晶圆步进模式。UltraStep 1500的最大扫描尺寸为400 mm x 400 mm,频率范围为0.75至20 kHz,能够为10nm、7nm和5nm应用生产晶片。ULTRATECH UltraStep 1500利用连续波激光扫描技术，以极好的精度和均匀性，创造并重复完美的圆形形状、线条和其他形状。激光光源使用一组小型复制掩码进行基线校准,确保每次扫描都能获得准确的结果。该系统还具有一个先进的图像识别单元，可以识别不同的特征大小和形状，并且可以编程来相应地调整扫描模式。UltraStep 1500配备了先进的运动控制系统，以提供最佳的扫描速度。它允许高速扫描应用程序选择高达500 m/s的扫描速度。该机还允许可变激光功率，能够精确控制光束直径、波长和瞳孔大小。可变激光功率与可变运动控制工具耦合，创建动态扫描速度和功率分布。为了确保生产过程的准确性和检测缺陷,ULTRATECH UltraStep 1500配备了集成的自动测试设备。这种自动化的测试设备允许进行过程中的监控、性能验证和缺陷检测。此外,还可以对资产进行进一步编程,以便在发现任何缺陷时触发警报或采取纠正措施。总体而言,UltraStep 1500旨在提供高精度的最高性能,使其成为集成电路和设备制造的理想步进器。该车型先进的特点、精确的扫描机械、过程中的自动测试设备，确保了这款工具在高端集成电路等尖端设备的生产中达到质量和可靠性的行业标准。
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