二手 ULTRATECH UltraStep 1500 #293820270 待售

ULTRATECH UltraStep 1500是一种功能强大且全自动的晶圆步进器,旨在提高生产效率和速度,同时降低总成本和时间。其独特的设计和最先进的技术为用户提供了更大的灵活性和控制力。UltraStep 1500最多可处理5个盒式磁带,容量可达8英寸晶圆。它具有直观的触摸屏,可轻松配置、编程和监控步进器。设备还包括一个互锁的安全功能，使用户在操作时远离高压区域。ULTRATECH UltraStep 1500配备了高性能XY扫描系统，频率为300 Hz，XY分辨率为0.25 µm，曝光时间高达5.5 ms。它还包括一个集成的数字成像单元，每晶圆最多可捕获8个图像。此外，它还支持各种晶片载流子，包括单个晶片、大型次光刻和标线对准。这台机器具有极高的准确性和可重复性,世界一流的曝光均匀性± 5%。晶圆吞吐量高达200晶圆/小时，与有机和无机抗性材料兼容。UltraStep 1500提供了多种曝光工具,包括各种曝光模式,包括并行和扫描对齐、蒙版编辑,以及功能强大的原始曝光模式序列选项。晶圆步进器是为优越的硬件和软件机器可扩展性而设计的，为开发过程或组件技术战略和应用提供了一个创新的平台。为了帮助降低运营成本,ULTRATECH UltraStep 1500具有先进的能效等级、较低的维护要求和最小的空间占用空间。此外，它还包括自动自我诊断系统，不断监控和调整芯片制造工具的性能。诊断资产与支持远程监视和控制机器的监视和控制模型协同工作。总体而言,UltraStep 1500是一款功能强大、准确且完全自动化的晶片步进器,可简化芯片制造并降低成本和时间。它非常适合大批量应用,为芯片制造生产提供了完美的解决方桉。